10月26日，世界著名等离子体专家、日本科学委员会成员、东京大学名誉教授教授吉田豊信（Yoshida Toyonobu）和日本东京大学材料工程系副教授神原淳（Kambara Makoto）应邀到中国科学院宁波材料技术与工程研究所交流访问，并分别作了题为“Plasma Materials Interfacing”和“Cluster assisted mesoplasma epitaxy”的学术报告。所属新能源技术研究所叶继春研究员主持报告会，宁波材料所所长、党委书记崔平出席报告会，并为吉田豊信教授颁发了客聘研究员聘书。 

报告中，吉田豊信教授从不同年代的材料研究主题引入，介绍了等离子体材料工学的历史演变，与大家分享了他本人近50年来在等离子体技术领域的研究历程，并且对中压等离子体（Mesoplasma）外延成膜过程从科学本质上进行了阐释。与会人员全神贯注，对这一独特的外延技术产生了浓厚的兴趣。此外，作为世界上首套中压等离子体化学气相沉积设备的开发者，吉田豊信教授还向大家介绍了其团队在此设备研究开发方面所做的一系列工作，向与会人员展示了此设备在各阶段的演变过程。 

随后，神原淳教授就中压等离子体外延沉积过程进行了详细介绍，包括等离子体起辉、成膜前驱体形成、中压等离子体喷枪结构设计、反应模型建立等。神原教授还进一步介绍了相关原位测试表征设备的搭建与进展。报告过程中，与会人员就感兴趣的问题与二位专家进行了交流探讨。崔平所长鼓励大家要勇于探索、敢于创新、争取突破。 

报告结束后，在叶继春研究员等人的陪同下，吉田豊信教授和神原淳副教授参观了新能源所洁净室，详细了解了我方中压等离子体外延沉积设备的建设情况，对于日后双方继续开展紧密合作做了细致的规划。 

报告人简介： 

吉田 豊信 (Yoshida Toyonobu)，世界著名等离子体专家，日本物质？材料研究所(NIMS)fellow，日本科学委员会材料工程部主席，东京大学名誉教授，多伦多大学兼职教授。Science and Technology of Advanced Materials杂志主编。曾担任日本全国高校材料部门委员会主席、国际纯粹与应用化学联合会（IUPAC）等离子体化学分会主席、国际等离子体化学协会（IPCS）fellow等。在中压等离子体化学气相沉积技术、热等离子体技术、低压等离子体制程等方面有近50年的研究经历，涵盖的材料体系涉及单晶硅、金属合金、陶瓷、SiC、金刚石、立方氮化硼、高温超导材料、燃料电池、热障图层等领域。发发表论文150余篇，出版科学著述10册，申请专利30余项。荣获等离子体材料科学奖、纳米技术NEDO有望技术奖、日本金属学会谷川哈里斯奖等多个奖项。 

神原 淳 (Kambara Makoto)，东京大学材料工程系副教授，国际等离子化学协会会员、日本物理协会、日本金属协会会员，Sci. Tech. Adv. Mater.杂志副主编。一直从事等离子体材料工学、薄膜生长、纳米颗粒以及超导材料相关的研究工作，在J. Appl. Phys.、Plasma Chem. Plasma Process、Supercond. Sci. Technol.、Surf. Coat. Tech.、IEEE Trans. Plasma Sci.、 J. Mater. Res.等杂志上发表SCI论文80多篇，在等离子体喷涂和成膜技术发面发表著作7部，曾获JIM（日本金属学会）青年研究者奖、本田纪念奖、MRS-J鼓励奖等多项荣誉。

吉田教授做报告

神原教授做报告

崔平为吉田教授颁发聘书

（新能源所韩灿 王钟）