厂 商 日本NAPSON
型 号 CRESBOX
到货日期 2011年2月

1、主要用途及特点
CRESBOX半自动四探针测试仪可用于测试硅晶片及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、金属薄膜等材料的电阻率和方块电阻。
具有图谱软件功能，可作二维、三维图形；具有厚度/边缘/温度补偿功能；全覆式暗箱测试清除测量环境干扰；内含温度传感器与方便联机的USB接口。

2、技术指标
 
3、样品要求
样品总厚度不可超过2mm；
最大尺寸为8inch(φ200mm)的圆片或边长为156mm*156mm的方片。
4、联系方式：
徐泽涵  18858757996 xuzehan@nimte.ac.cn 

5、实验室：
新能源所 E717